고분해 광시야 현미경 모듈
- Introduction
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고분해 광시야 현미경 모듈의 특징
1um분해능을 가지고 있으며, FOV가 8.7mm인 5x 대물렌즈를 이용한 현미경 모듈로서 산업용 검사 광학계로 주로 사용된다.
사용하는 카메라 및 배율에 따라 튜브렌즈를 교체하여 사용 가능하도록 설계된 모듈이다.- 용도 : Micro LED, LCD, PCB 검사(Micro Pattern), Machine Vision, 패턴검사 등
- 사용카메라 : Area Scan Camera(29M 5.5um), Line Scan Camera(12k 5um, 16k 5um, 23k 3.5um)
- 배율 : 5x, 7.42x, 9.425x
- Specification
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Parameter Specification Remark Magnification 5x
7.42x
9.425xTube Lens F=200mm
Tube Lens F=297mm
Tube Lens F=377mmWavelength White 435~656 nm Auto Focusing 658 nm 658 nm ± 5 nm FOV 8.7 mm - EFL 40 mm - NA 0.3 Tube Lens F200mm NA 0.06 MTF 0.3@500lp/mm Object Resolution 1um DOF(Object) ±4um Sensor Pixel size 5.5umMTF 20%(90lp/mm) Distortion < 0.03% - Working Distance 6.5mm Object to Front Parfocal Length 95~120 mm
(Can Be Changed)Object to Mount Flange Detector Full Frame Camera
12k 5.2um Line Camera
16k 5um Line CameraImage Circle Size : 43.5 mm
Image Circle Size : 63.9 mm
Image Circle Size : 81.9 mmSize(OAL) 130 mm Out Dia. Ø61 mm
- Test Image(USAF Test Image)
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당사 제품 타사 제품 - Center 
<Pro Optics>
<Other HR 5x>
- 0.5Field (FOV : 4.4mm) 
<Pro Optics>
<Other HR 5x>
- 0.75 Field (FOV : 6.6mm) 
<Pro Optics>
<Other HR 5x>
- Full Field (FOV : 8.7mm) 
<Pro Optics>
<Other HR 5x>